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SE激光掺杂

时间：2021-03-29   访问量：2959

该工艺利用PSG层，使用激光对电池片进行SE掺杂，显著增加电极的导电性。针对这个工艺，我们把激光光斑整形后变为平顶方形光斑，使其能量分布均匀，适合PSG的SE掺杂的应用。

工艺特征

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