产品特点
532nm 激光
单晶和多晶晶圆: 156-166mm
设备净产率: 7500WPH
工艺应用: PERC，双面PERC， IBC
设备结构：双工位转台和二维扫描头
晶圆定位：高精度4相机CCD相机阵列，背光照明系统
SolarLase-G3PERC 是自动化高产率量产激光加工设备，用于高效晶硅PERC、双面PERC，和IBC电池的生产。SolarLase-G3PERC 使用先进的532nm波长激光微加工技术对PERC和IBC电池的背面进行激光开槽（Laser Ablation）。
SolarLase-G3PERC 使用大扭矩转台设计把晶圆从上料区快速传送到加工区以及下料区，达到很高的量产产率（7500WPH）。除了转台转动时间外，设备中激光总是处于繁忙工作状态，使激光的利用率达到最大化。
SolarLase-G3PERC 使用高精度CCD相机阵列寻找晶圆的边缘和为晶圆定位，设备控制软件对激光扫描图案的大小、位子和角度也相应地进行调整， 使得激光在晶圆上打印的图案与晶圆的四边形成一个外观优美的、均匀和等距离的边框。晶圆定位精度满足IBC加工要求。
为了满足24×7的稳定量产要求，我们选择花岗岩材料来给设备的光学系统和机械系统提供一个稳定的安装和工作平台。SolarLase-G3PERC 满足 Class-I激光安全标准，确保操作人员的安全。设备的应用软件中工程师能够方便地编辑配方，操作员可以简单地使用配方进行生产。 设备的高效除尘系统把99%以上的加工灰尘清除掉，保证了晶圆的清洁。
SolarLase-G3PERC 还可以根据客户的特殊要求提供适合您的配置，敬请您联系我们的销售部门。