产品特点
使用半导体行业的SECS-GEM协议
花篮RFID，含有前一道工序的信息
上料时读取RFID工艺信息
下料时写入RFID工艺信息
MES对晶圆的跟踪
产线上料和下料时读取每片晶圆ID
上料时通过MES获得每片晶圆的加工要求
下料时把每片晶圆完成的工艺上传给EMS
跟踪和报告每片晶圆的实际位置
AGV小车上下料
光伏行业和半导体行业采取AGV小车自动上下料，LasFocus公司产品均可与AGV对接和上下料。
直线型自动上下料或者自动下料
U型上下料，带空花篮内循环
单轨、双轨，一层或者两层AGV上下料
晶圆跟踪
每片晶圆有独一无二的激光二维码，工厂和产线使用Dot Matrix跟踪晶圆
激光图案 | 规格 |
| <1x1mm，Dot Matrix |
工厂和产线使用RFID跟踪花篮。花篮输送机在输入和输出花篮时读取它的RFID，与工厂MES系统进行产品的工艺信息交互。
SECS-GEM协议
所有设备使用SECS-GEM协议，达到半导体行业标准